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TFT-LCD 有机废气治理——尾气处理设备

2020-12-14 10:25:56    责任编辑: 废气处理设备制造厂商     0

TFT-LCD,即薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)。TFT-LCD 的制造生产工艺工序繁多,包括检查和测试在内可达到100 多道工序,生产过程中使用多种化学有机溶剂和特殊气体,会产生大量的有机废气(VOCs ),组分复杂。如果不经尾气处理设备直接排空,将对环境造成污染。


TFT-LCD有机废气来源:

TFT 液晶面板生产排放VOCs 污染物的工序主要集中在阵列工程和彩膜工程两大部分。阵列工程中的光刻(涂胶、曝光和显影),以及彩膜工程中的黑色矩阵BM 膜制造、彩色矩阵膜形成(红、绿、蓝,RGB)、保护膜生成、MVA 膜、PS(PHoto Spacer)膜生成是产生VOCs 的主要工艺。

同时,在成盒工程中清洗工序使用的有机溶剂挥发也会产生少量的VOCs。TFT-LCD 的制造过程中产生的VOCs 主要是以异丙醇为主,其次依序是丙酮、单甲基醚丙二醇、单甲基醚丙二醇乙酸酯,这四种成分占了全部VOCs量的90%以上。



尾气处理设备:

尾气处理设备,主要是指运用不同工艺技术,通过回收或去除、减少排放尾气的有害成分,达到保护环境、净化空气及保护周边人员身体健康的一种环保设备。


目前,针对TFT-LCD有机废气的尾气处理,一般采用吸附、焚烧或两者相结合的处理方法。有机溶剂废气先由吸附式尾气处理设备(Local Scrubber)进行吸附处理,再进入中央处理系统(central scrubber)进行二次处理后排入大气。

吸附式尾气处理设备(Local Scrubber)是利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,使其中所含的一种或多种组分吸附于固体表面上,达到分离的目的。其中吸附剂选择性高,能分开其他过程难以分开的混合物,有效地清除(或回收)浓度很低的有害物质,净化效率高,设备简单,操作方便,且能实现自动控制。


以上,就是关于TFT-LCD制造生产工艺中有机溶剂(VOCs)尾气的来源种类和尾气处理设备的简单先容,感谢您的阅读!


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